ПОЛУЧЕНИЕ ПЛЕНОК ПОЛУРОВОДНИКА CUS МЕТОДАМ ТЕРМИЧЕСКОГО ИСПАРЕНИЯ В ВАКУУМЕ
Xülasə
В статъе иследуется получение тонких пленок полуроводника CuS методам термического испарения в вакууме. Показано, что вакуумная установка для получения пленок было собрана на основе с пециалъной вакуумной установки “Тесла”. В работе анализируется принципалъная схема вакуумной напылителъной установки. Приводится структуры и принцип работы установки “Тесла”. Дано, некоторые параметры кристаллической решетки CuS. В статъе, также приводится важные формулы для определение скоростъ испарения, толщина пленки и максималъного содержания примесей в пленке. Структура полученных пленок исследоваласъ рентгенографическим методам. Установлено, что параметры решетки в массивных и пленочных образцах совподают.